「クリーンテクノロジー」にミニマル集光型CVD炉の紹介記事が掲載されました。 2013.12.01 メディア掲載 日本工業出版(株)刊「クリーンテクノロジー」に 当社ミニマル集光型CVD炉の紹介記事が掲載されました。 公開日:2013年12月1日 掲載媒体:クリーンテクノロジー