スクラッチ試験によるTiNセラミック皮膜の破壊的評価 2000.11.01 技術・論文 論文タイトル:スクラッチ試験によるTiNセラミック皮膜の破壊的評価 公開日:2000年11月1日 掲載媒体:日本機械学会(66-651)