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スクラッチ試験によるTiNセラミック皮膜の破壊的評価

2000.11.01
技術・論文

論文タイトル:スクラッチ試験によるTiNセラミック皮膜の破壊的評価

公開日:2000年11月1日
掲載媒体:日本機械学会(66-651)