技術・論文情報

技術・論文情報一覧

2007/03/01     浮屋根式貯蔵タンクのソロッシング減衰対策(圧縮試験機caty-1001CLで協力)      土木学会論文集

2000/11/01     スクラッチ試験によるTiNセラミック皮膜の破壊的評価               日本機械学会(66-651)

学会・その他イベント発表一覧

2014/09/01     ミニマル集光加熱炉における加熱効率 および温度均一性の改善            第62回 応用物理学会

2014/03/01     ミニマル集光加熱炉によるシリコン熱酸化プロセス                  第61回 応用物理学会

       【概要】ミニマルファブでは、1 分に1 プロセスを想定しているため、ミニマル熱酸化炉は、高速昇降温が可能な装置であ

           る必要がある。ウェハが小さいため、集光加熱やレーザー照射方式を用いたミニマル熱酸化炉では、ウェハだけを

           集中的に加熱することにより、急峻な昇降温が可能となる。集光加熱方式では、反射鏡を用いてウェハに赤外線を

           集中させることにより、約2 分で1100℃までの昇温が可能である。温度制御は、ステージ温度のモニタリングによ

           り行っている。ウェハ温度はステージ温度より10%程度高い温度となる。ウェハ面内の膜厚ばらつき((Max-Min)/

           Average)は2~6%程度であり、集光加熱方式としては良好な膜厚均一性を得ることができた。

2013/04/01     集光型CVD炉開発報告                           ファブシステム研究会定期総会

論文タイトル

掲載媒体

発表タイトル

イベント名称

Copyright (c) YONEKURA MFG Co.,Ltd. All Rights Reserved.